洁净室及相关受控环境检测

发布时间：2024-06-21 作者：中析研究所浏览：

GB/T 4059-2018硅多晶气氛区熔基磷检验方法

本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定，测定范围为0.01×10<上标13> cm<上标-3>~500×10<上标13> cm<上标-3>。

GB/T 4060-2018硅多晶真空区熔基硼检验方法

本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01×10<上标13> cm<上标-3>~5×10<上标15> cm<上标-3>。

GB 8368-2018一次性使用输液器重力输液式

本标准规定了一次性使用重力输液式输液器的标记、材料、物理、化学和生物等要求。本标准适用于一次性使用的、与输液容器和静脉器具配合使用的重力输液式输液器。

GB/T 19921-2018硅拋光片表面颗粒测试方法

本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试，对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。针对130 nm~11 nm线宽工艺用硅片，本标准提供了扫描表面检查系统的设置。本标准适用于使用扫描表面检查系统对硅抛光片和外延片的表面局部光散射体进行检测、计数及分类，也适用于对硅抛光片和外延片表面的划伤、晶体原生凹坑进行检测、计数及分类，对硅抛光片和外延片表面的桔皮、波纹、雾以及外延片的棱锥、乳突等缺陷进行观测和识别。本标准同样适用于锗抛光片、化合物抛光片等镜面晶片表面局部光散射体的测试。

GB/T 19973.2-2018医疗器械的灭菌微生物学方法第2部分:用于灭菌过程的定义、确认和维护的无菌试验

GB/T 19973的本部分规定了已使用灭菌剂进行低于常规灭菌处理程度时，处理的医疗器械进行无菌试验的一般标准。这些试验预期在定义、确认或维护灭菌过程时进行。本部分不适用于：a)　经过灭菌过程的产品在常规放行时进行的无菌检查；b)　进行无菌检查(参见3.12)；c)　生物指示剂或接种产品的培养。

GB/T 24218.10-2016纺织品非织造布试验方法第10部分:干态落絮的测定

GB/T 24218的本部分规定了在干燥状态下测量非织造布落絮的试验方法。该方法也适用于其他纺织材料。

GB/T 24249-2009防静电洁净织物

本标准规定了防静电洁净织物的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于在电子、半导体、医药、食品等行业的洁净室及相关受控环境使用的，用以制成洁净室服装、帽子、手套、鞋套等产品的织物。

GB/T 24579-2009酸浸取.原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物

1. 1本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质，并用石墨炉原子吸收定量检测多晶硅块表面上的痕量金属杂质分析方法。1.2本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、铝、铁、铬、镍、锌的检测。1.3本标准适用于各种棒、块、粒、片形多晶或单晶硅表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则，面积很难准确测定，根据样品重量计算结果。使用的样品重量为50 g～300 g，检测限为0.01 ng/g。1.4酸的强度、组成、温度和浸取时间决定着表面腐蚀深度和表面污染物的浸取效率。在这个试验方法中腐蚀掉的样品重量小于样品重量的1%。1.5该试验方法提出了一种特定的样品尺寸、酸组成、腐蚀周期、试验环境和仪器方案，这些参数可以调整，但可能影响金属的回收效率及滞留量。该方法适用于重量为25 g～5 000 g的样品的测定，为达到仲裁的目的，该试验方法规定样品重量为300 g。该试验方法在干扰和结果的偏差方面做了详细说明。1.6该试验方法详细说明了用于分析酸提取痕量金属含量的石墨炉原子吸收光谱法的使用。也可使用灵敏度相当的其他仪器如电感耦合等离子体/质谱仪。1.7方法的检测限和偏差取决于酸提取过程的效率、样品尺寸、方法干扰、每个元素的吸收谱及仪器灵敏度、背景和空白值。1.8该方法是用热酸来腐蚀掉硅表面，腐蚀剂是有害的，操作必须在通风橱中进行，整个过程中必须非常小心。氢氟酸溶液非常危险，不熟悉专门防护措施的人不能使用。

GB/T 25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级

本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区、GB/T 25915.7所述的隔离装置中的空气洁净度等级。本文件适用于粒径挡下限为0.1 μm~5 μm的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。超细粒子(＜0.1 μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点，规定使用光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子(＞5 μm)的粒子浓度，用M描述符对其量化。本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。

GB/T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。本文件适用于粒径0.1 μm~5 μm粒子浓度的监测。本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于0.1 μm的粒子)浓度的监测，将在另一个标准中规定。

GB/T 25915.3-2010洁净室及相关受控环境.第3部分：检测方法

警告——GB/T 25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T 25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前，GB/T 25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生措施，并遵守各种强制性规定。GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法，以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区类型，为此，本文件推荐了若干代替方法。为了满足不同用户的要求，对于某些检测项目，本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意，也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。

GB/T 25915.4-2010洁净室及相关受控环境第4部分：设计、建造、启动

GB/T 25915的本部分规定了洁净室设施的设计和建造要求，但并未规定满足那些要求所需的具体技术或契约手段。本部分还给出了一份重要性能参数的目录，一并供洁净室设施的需方、供方和设计方使用。本部分给出的包括启动和确认要求的建造指南。在考虑运行和维护的相关事项时，明确了保证持续、满意运行的设计和建造的基本要素。本部分的应用有如下限定：用户要求由需方或规定方提出；对洁净室设施内的具体工艺未做规定；对消防和安全未做专门规定，消防和安全方面应遵守适用的和地方法规；仅涉及了不同洁净度区域内及之间工艺介质和公用设施的路径；仅涉及了与洁净室建造有关的初始运行和维护的具体要求。

GB/T 25915.5-2010洁净室及相关受控环境第5部分：运行

GB/T 25915的本部分规定了洁净室运行的基本要求，供准备使用并运行洁净室的人员使用。本部分内容未涉及与污染控制有直接关联的安全问题，相关问题应遵守和地方的安全法规。本部分涉及生产各类产品的各个级别的洁净室。应用范围广泛，但未涉及各个行业的特定要求。本部分未包括洁净室的常规监测方法和规划的细节，关于粒子的监测参见GB/T 25915.2和GB/T 25915.3，微生物的监测参见GB/T 25916.1和GB/T 25916.2。

GB/T 25915.6-2010洁净室及相关受控环境第6部分：词汇

GB/T 25915的本部分给出了洁净室及相关受控环境有关的术语和定义，是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T 25915.1和GB/T 25915.2中的术语和定义。

GB/T 25915.7-2010洁净室及相关受控环境第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）

GB/T 25915的本部分规定了设计、建造、安装、检测和批准隔离装置的低要求，这些要求有别于GB/T 25915.4和GB/T 25915.5对洁净室的规定。本部分的应用，考虑有下述限定条件：-需方与供方商定的用户要求；-本部分未说明的具体应用要求；-本部分未规定隔离装置内将要进行的具体工艺；-本部分并未特别关注消防、安全等强制性规定，这些问题应遵守适用的和地方法规。

GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级

本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组或类)的浓度，对空气化学污染进行分级。同时，本文件分级技术要求，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中10<上标0> g/m<上标3>~10<上标-12> g/m<上标3>的化学污染物浓度。本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。本文件无意探讨空气化学污染物的特性。本文件不包含对表面化学污染的分级。

GB/T 25915.9-2018洁净室及相关受控环境第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05 μm~500 μm的粒子。本部分对以下事项未予考虑：——特定工艺的洁净度及适合性要求；——表面的清洁步骤；——材料特性；——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；——分级和测试统计方法的选择和使用；——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。