洁净室或洁净区检测

发布时间：2024-06-21 作者：中析研究所浏览：

GB/T 4059-2018硅多晶气氛区熔基磷检验方法

本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定，测定范围为0.01×10<上标13> cm<上标-3>~500×10<上标13> cm<上标-3>。

GB/T 4060-2018硅多晶真空区熔基硼检验方法

本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01×10<上标13> cm<上标-3>~5×10<上标15> cm<上标-3>。

GB/T 5226.33-2017机械电气安全机械电气设备第33部分:半导体设备技术条件

GB/T 5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求。本部分所论及的设备是从机械电气设备的电源引入处开始的(见5.1)。本部分适用的电气设备或电气设备部件，其标称电压不超过1 000 Va.c.或1 500 Vd.c.，额定频率不超过200 Hz。对于更高的电压或频率，可能需要特殊的要求。本部分包括针对电气安全隐患的防护措施和针对非电气安全隐患的电气联锁保护电路，但不涵盖由其他标准或法规规定的对人身安全保护的所有要求(如化学品危险、机械危险、辐射危害)。每种类型的机械适应其特定要求以提供足够的安全。下列半导体制造设备的电气装置应提供附加和特殊技术要求：——使用、加工或生产易爆材料；——在易燃易爆环境中使用；——当生产或使用某种材料时有特殊风险；——作为起重机械(包括在IEC 60204-32)。本部分不包括半导体设备的性能或功能特性规范。本部分不涉及对人类健康可能造成影响的源于半导体设备的排放(如电磁场，噪声)。本部分没有规定电磁兼容性(EMC)的要求。

GB/T 6167-2007尘埃粒子计数器性能试验方法

本标准规定了试验用标准粒子的发生装置原理以及尘埃粒子计数器的性能试验方法。本标准适用于利用光散射原理，对采样空气中粒径为0．1μm～10．0μm悬浮微粒大小和粒子数量进行测量的尘埃粒子计数器。该类尘埃粒子计数器主要用于洁净室的洁净度检测和空气过滤器及滤材的性能检测。

GB/T 6619-2009硅片弯曲度测试方法

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片弯曲度的接触式测量方法。本标准适用于测量直径不小于25mm,厚度为不小于180μm,直径和厚度比值不大于250的圆形硅片的弯曲度。本测试方法的目的是用于来料验收和过程控制。本标准也适用于测量其他半导体圆片弯曲度。

GB/T 6620-2009硅片翘曲度非接触式测试方法

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片翘曲度的非接触式测试方法。本标准适用于测量直径大于50mm,厚度大于180μm的圆形硅片。本标准也适用于测量其他半导体圆片的翘曲度。本测试方法的目的是用于来料验收或过程控制。本测试方法也适用于监视器件加工过程中硅片翘曲度的热化学效应。

GB 8368-2018一次性使用输液器重力输液式

本标准规定了一次性使用重力输液式输液器的标记、材料、物理、化学和生物等要求。本标准适用于一次性使用的、与输液容器和静脉器具配合使用的重力输液式输液器。

GB/T 11446.9-2013电子级水中微粒的仪器测试方法

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05 μm,微粒的浓度范围为0~10 000个/mL。

GB 12695-2016食品安全标准饮料生产卫生规范

本标准规定了饮料生产过程中原料采购、加工、包装、贮存和运输等环节的场所、设施、人员的基本要求和管理准则。本标准适用于除包装饮用水外的饮料生产，不适用于现制现售的饮料。

GB/T 14264-2009半导体材料术语

本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素和化合物半导体材料。

GB 14925-2010实验动物环境及设施

本标准规定了实验动物及动物实验设施和环境条件的技术要求及检测方法，同时规定了垫料、饮水和笼具的原则要求。本标准适用于实验动物生产、实验场所的环境条件及设施的设计、施工、检测、验收及经常性监督管理。

GB/T 16292-2010医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法

本标准规定了空气悬浮粒子污染的测试方法。本标准适用于医药工业洁净室和洁净区，无菌室或局部空气净化区域的空气悬浮粒子测试和环境的验证。本标准不能用于表征物理的、化学的、反射线学的，或空气微粒的可繁殖特性。

GB/T 16293-2010医药工业洁净室(区)浮游菌的测试方法

本标准规定了医药工业洁净室和洁净区中浮游菌测试条件、测试方法。本标准适用于医药工业洁净室和洁净区，无菌室或局部空气净化区域的浮游菌的测试和环境的验证。

GB/T 16294-2010医药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法

本标准规定了医药工业洁净室和洁净区中沉降菌测试条件、测试方法。本标准适用于医药工业洁净室和洁净区，无菌室或局部空气净化区域的沉降菌的测试和环境的验证。

GB/T 16803-2018供暖、通风、空调、净化设备术语

本标准界定了供暖、通风、空调、净化设备的构造、性能通用术语和定义。本标准适用于供暖、通风、空调、净化设备的设计、生产和应用，也适用于供暖、通风、空调、净化设备的科研、教学和出版工作。本标准不适用于锅炉等热源设备和交通工具使用的供暖设备、消烟、排毒设备和通用的风机等通风设备以及交通工具和特殊用途的空调设备。

GB 17405-1998保健食品良好生产规范

本标准规定了对生产具有特定保健功能食品企业的人员、设计与设施、原料、生产过程、成品贮存与运输以及品质和卫生管理方面的基本技术要求。本标准适用于所有保健食品生产企业。

GB/T 18517-2012制冷术语

本标准界定了制冷术语。本标准适用于制冷的产品制造、工程设计、施工、维护管理以及科研、教育等领域。

GB/T 19002-2018质量管理体系 GB/T 19001—2016应用指南

本标准旨在对GB/T 19001—2016的要求提供指南，并给出组织为满足这些要求可能采取步骤的示例。本标准没有增加、删减或以任何方式修改这些要求。本标准没有规定强制性的实施方法或提供任何首选的解释方法。

GB/T 19921-2018硅拋光片表面颗粒测试方法

本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试，对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。针对130 nm~11 nm线宽工艺用硅片，本标准提供了扫描表面检查系统的设置。本标准适用于使用扫描表面检查系统对硅抛光片和外延片的表面局部光散射体进行检测、计数及分类，也适用于对硅抛光片和外延片表面的划伤、晶体原生凹坑进行检测、计数及分类，对硅抛光片和外延片表面的桔皮、波纹、雾以及外延片的棱锥、乳突等缺陷进行观测和识别。本标准同样适用于锗抛光片、化合物抛光片等镜面晶片表面局部光散射体的测试。