洁净室用设备适用性评价检测
GB/T 29469-2012洁净室及相关受控环境.性能及合理性评价
本标准规定了对洁净室及相关受控环境的性能及合理性评价的程序和内容。本标准适用于对洁净室相关受控环境的性能级合理性评价。
GB/T 50931-2013医药工程建设项目设计文件编制标准
本标准适用于新建、改建、扩建的医药工程建设项目的初步设计文件和施工图设计文件编制。
GB/T 50978-2014电子工业工程建设项目设计文件编制标准
本标准适用于电子工业厂房、仓库以及具有电子工业性质的实验、教学设施及其配套工程的新建、改建、扩建和技术改造项目的工程设计。
GB/T 51188-2016建筑与工业给水排水系统安全评价标准
本标准适用于新建、扩建、改建和既有建筑与工业的给水排水系统安全评价。本规范不适用于军工等特殊行业建筑与工业的给水排水系统安全评价。
SJ 21047-2016低温共烧陶瓷层压机通用规范
本规范规定了低温共烧陶瓷层压机（以下简称设备）的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于温水等静压层压机的设计、生产、检验、验收和订购。
SJ 21130-2016等离子体刻蚀机通用规范
本规范规定了等离子体刻蚀机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于微电子生产工艺中等离子体刻蚀机的设计、生产、检验、验收和订购。
SJ 21131-2016反应离子刻蚀机通用规范
本规范规定了反应离子刻蚀机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于反应离子刻蚀机的设计、生产、检验、验收和订购。
