GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

　　标准号：GB/T 38447-2020

　　中文标准名称：微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

　　英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

　　中国标准分类号

　　(CCS)L55

　　标准分类号

　　(ICS)31.200

　　发布日期

　　2020-03-06

　　实施日期

　　2020-07-01

　　主管部门

　　标准化管理委员会

　　归口单位

　　微机电技术标准化技术委员会

　　主要起草单位

　　北京大学 、中机生产力促进中心 、北京智芯传感科技有限公司 、沈阳国仪检测技术有限公司 、浙江博亚精密机械有限公司 、中北大学 、北京必创科技股份有限公司 。

　　主要起草人

　　张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。

　　相近标准(计划)

　　20171123-T-469 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

　　GB/T 14562-1999 V带疲劳试验方法 有扭矩法

　　TB/T 2349-2016 铁路钢桥连接疲劳试验方法

　　QB/T 2919-2018 箱包 拉杆耐疲劳试验方法

　　20171124-T-469 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 微机电系统(MEMS)技术 薄膜张力特性条带弯曲试验方法

　　GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

　　20200872-T-469 微机电系统(MEMS)技术 术语

　　GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语 微机电系统(MEMS)技术 术语