GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

　　标准号：GB/T 38446-2020

　　中文标准名称：微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

　　英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

　　中国标准分类号

　　(CCS)L55

　　标准分类号

　　(ICS)31.200

　　发布日期

　　2020-03-06

　　实施日期

　　2020-10-01

　　主管部门

　　标准化管理委员会

　　归口单位

　　微机电技术标准化技术委员会

　　主要起草单位

　　北京大学 、中机生产力促进中心 、北京智芯传感科技有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、中北大学 、北京必创科技股份有限公司 。

　　主要起草人

　　张威 、李海斌 、张亚婷 、朱悦 、夏长奉 、石云波 、陈得民 、马书嫏 、程红兵 、周浩楠 。

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