GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

　　Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

　　标准 推荐性 现行标准《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行，主管部门为标准化管理委员会。

GB/T 37049-2018主要起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司 、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 、有研半导体材料有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、新特能源股份有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 。

GB/T 37049-2018主要起草人

鲁文锋 、刘晓霞 、秦榕 、孙燕 、赵而敬 、王桃霞 、赵玉 、王忠慧 、柳德发 、张园园 、银波 、邱艳梅 、刘强 。

GB/T 37049-2018相近标准(计划)

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