GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法

标准号：GB/T 32278-2015

　　中文标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法

　　英文标准名称：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers

　　标准状态：现行

　　中国标准分类号：(CCS)H21

　　标准分类号：(ICS)77.040

　　发布日期：2015-12-10

　　实施日期：2017-01-01

　　主管部门：标准化管理委员会

　　归口单位：半导体设备和材料标准化技术委员会

主要起草单位

　　北京天科合达蓝光半导体有限公司 、中国科学院物理研究所 。

主要起草人

　　陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 。

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