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本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO 23833中定义的术语。 本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
本标准表述了如何描述一台俄歇电子能谱仪的特定性能。
本标准界定了金相学和金相检验及其相关领域的术语,主要涵盖了光学显微术、显微压痕硬度测试、样品制备、X-射线和电子金相学、定量金相学、显微摄影术、晶粒尺寸和夹杂物含量的测定等金相学领域中广泛使用的专有名词。本标准适用于金相学领域中的科研、生产、检验、教学、出版、编制标准及国内外科技交流。
本标准规定了单壁碳纳米管的透射电子显微术表征形貌的方法,及识别单壁碳纳米管样品中其他材料元素组成的能谱法。本标准适用于检测单壁碳纳米管的基本结构,包括形貌、缺陷、直径分布、管束大小和取向、结晶情况,以及元素组分和手性分析等。
本标准提供了表面化学分析样品安装和表面处理方法的指导。目的是帮助分析人员理解在使用俄歇电子能谱、二次离子质谱和X射线光电子能谱等表面分析技术进行分析时,所必需的专门样品处理条件。
本标准规定了利用SEM和EDX分析单壁碳纳米管粗产品及纯化后粉末或薄膜产品的形态、元素组成、催化剂和其他无机杂质的测试方法。本标准适用于单壁碳纳米管的特性分析,亦可用于多壁碳纳米管(multiwall carbon nanotubes,简称MWCNTs)的特性分析。
本标准规定了生物试样扫描电子显微镜分析的技术要求和规范。本标准适用于各种类型的扫描电子显微镜。
本标准导则适用于俄歇电子能谱术(AES)和X射线光电子能谱术(XPS),也适用于其他表面灵敏分析技术。 本标准导则可能涉及有害的操作、设备及物质,但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前,应该制定适当的安全与保健措施,并确定本导则的应用范围。
本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。
本标准规定了六硼化镧产品的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于以碳化硼(或纯硼)还原氧化镧等方法制得的六硼化镧粉末、经热压及电弧法制得的六硼化镧,主要用于阴极发射材料,应用于电子显微镜、电子束焊接、放电管等领域。
本部分规定了六硼化镧中硼含量的测定方法。本部分适用于六硼化镧硼含量的测定,测定范围:20.00%~40.00%。
本部分规定了六硼化镧中铁、钙、镁、铬、锰、铜含量的测定方法。本部分适用于六硼化镧中铁、钙、镁、铬、锰、铜含量的测定,测定范围见表1。
本部分规定了六硼化镧中钨含量的测定方法。本部分适用于六硼化镧中钨含量的测定。测定范围:0.0010%~0.10%。
本部分规定了六硼化镧中碳含量的测定方法。本部分适用于六硼化镧中碳含量的测定。测定范围:0.015%~1.00%。
本部分规定了六硼化镧酸溶硅含量的测定方法。本部分适用于六硼化镧酸溶硅含量的测定。测定范围:0.0020%~0.10%。