材料表面分析检测

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GB/T 3163-2007真空技术.术语

本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。 本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。

GB/T 5907.4-2015消防词汇 第4部分:火灾调查

GB/T 5907的本部分界定了与火灾调查有关的常用术语和定义。本部分适用于火灾调查、消防管理、消防标准化、消防科学研究、教学、咨询、出版及其他有关的工作领域。

GB/T 7764-2017橡胶鉴定 红外光谱法

本标准规定了用两种红外光谱法对生胶、硫化胶、未硫化胶及热塑性弹性体进行鉴定的方法。第一种方法是透射分析法。第二种方法是反射分析法。使用反射分析法(衰减全反射ATR)和透射分析法(薄膜)得到的光谱比较图参见附录A。反射分析法和透射分析法都包括了使用橡胶的热解产物进行测定，或者通过薄膜法对溶液制膜或模压制膜(只限生胶)进行红外分析。典型的红外光谱图参见附录B。本方法应由有试验经验人员进行样品的制备和红外光谱的分析。为获得更好的结果，按照产品说明书操作光谱仪。本标准中不包括红外光谱仪的详细操作说明。本方法仅适用于定性分析。

GB/T 11378-2005金属覆盖层 覆盖层厚度测量 轮廓仪法

本标准规定了金属覆盖层厚度的一种测量方法。该方法是首先在覆盖层表面和基体金属表面之间形成一个台阶，然后应用轮廓记录仪测量台阶的高度。本标准具体规定了仪器的特性以及轮廓仪法的特殊测量规程。 本方法适用于测量平表面上厚度0.01μm～1000μm的金属覆盖层厚度，如果采取适当措施，也可以测量圆柱表面。它非常适合于微小厚度的测量，但对厚度小于0.01μm的工作表面平直度、平滑度的要求非常严格，因此建议不要在电子触针式仪器的低厚度范围内采用本标准。本方法适用于制备覆盖层厚度标准片厚度的测量。

GB/T 13966-2013分析仪器术语

本标准规定了分析仪器常用的基本术语以及电化学式分析仪器、光学式分析仪器、热学式分析仪器、质谱仪器、波谱仪器、色谱仪器、能谱和射线分析仪器、物性分析仪器、其他分析仪器及其辅助装置的术语和定义。本标准适用于分析仪器。本标准中方括号[]内的字是在不致混淆情况下,可省略的词;圆括号()内的字除说明外,为前者的同义语。

GB/T 15616-2008金属及合金的电子探针定量分析方法

本标准规定了用电子探针对金属及合金的化学成分进行定量分析的方法。本标准适用于金属和合金试样立方微米尺度的微区成分分析，分析元素的范围是<上标11>Na～<上标92>U。本标准也适用于用配置了波谱仪的扫描电子显微镜对金属及合金做定量分析。

GB/T 19500-2004X射线光电子能谱分析方法通则

本标准规定了X射线光电子能谱（XPS、X-ray Photoelectron Spectroscopy 或ESCA，Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）的一般表面分析方法以及相关的表面化学分析术语的含义，适用于X射线光电子能谱仪。

GB/T 20170.2-2006稀土金属及其化合物物理性能测试方法.稀土化合物比表面积的测定

本标准规定了稀土化合物的比表面和测定方法。 本标准适用于稀土化合物比表面积的测定。测定范围：0.20m<上标2>/g～300m<上标2>/g。 本标准所测表面积为粉末的总表面积，包括氮分子可进入粉末体的任何开孔表面积。

GB/T 21114-2019耐火材料 X射线荧光光谱化学分析 熔铸玻璃片法

本标准规定了由氧化物组成的耐火材料和陶瓷的化学分析方法，用熔铸玻璃片方法制样，X射线荧光光谱(以下简称XRF)测定。本标准适用于第3章列出的材料类型，其他耐火材料类型可参考使用。

GB/T 22571-2017表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准

本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线光电子能谱仪结合能标尺的方法，该谱仪使用非单色化Al或Mg X射线或单色化Al X射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法，用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献，但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用有下述情况的仪器：结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5 eV或者要求容差极限为±0.03 eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验，该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证，需按仪器制造商的推荐程序进行。

GB/T 24213-2009金属原位统计分布分析方法通则

本标准规定了金属原位统计分布分析方法的术语、基本原理及对仪器设备、样品、分析步骤等的一般要求。本标准适用于制(修)订金属原位统计分析方法的标准。其他相关标准亦可参照使用。

GB/T 24575-2009硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

1.1本标准规定了硅和外延片表面Na，Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法。本标准适用于用二次离子质谱法(SIMS)检测镜面抛光单晶硅片和外延片表面的Na，Al、K和Fe每种金属总量。本标准测试的是每种金属的总量，因此该方法与各金属的化学和电学特性无关。1.2本标准适用于所有掺杂种类和掺杂浓度的硅片。1.3本标准特别适用于位于晶片表面约5 nm深度内的表面金属沾污的测试。1.4本标准适用于面密度范围在(l0 ～10 atoms/cm 的Na、Al、K和Fe的测试。本方法的检测限取决于空白值或计数率极限，因仪器的不同而不同。1.5本测试方法是对以下测试方法的补充:1.5.1全反射X射线荧光光谱仪(TXRF)，其能够检测表面的原子序数Z较高的金属，如Fe，但对Na，Al、K没有足够低的检测限（)。 1.5.2对表面的金属进行气相分解(VPD)，然后用原子吸收光谱仪(AAS)或电感搞合等离子体质谱仪(ICP-MS)测试分解后的产物，金属的检测限为(10～10 )atoms/cm。但是该方法不能提供空间分布信息，并且金属的气相分解预先浓缩与每种金属的化学特性有关。

GB/T 25184-2010X射线光电子能谱仪鉴定方法

本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化Al或Mg X射线或单色化Al X射线，且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。

GB/T 25915.3-2010洁净室及相关受控环境.第3部分：检测方法

警告——GB/T 25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T 25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前，GB/T 25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生措施，并遵守各种强制性规定。GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法，以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区类型，为此，本文件推荐了若干代替方法。为了满足不同用户的要求，对于某些检测项目，本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意，也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。

GB/T 26533-2011俄歇电子能谱分析方法通则

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱（AES,Auger Electron Spectroscopy）的一般表面分析方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪。

GB/T 28633-2012表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性

本标准规定了常规分析中一种评估X射线光电子能谱仪强度标的重复性和一致性的方法，采用非单色Al/Mg或单色Al X射线源。本标准只适用于装有溅射离子枪的仪器。本标准不做强度/能量响应函数的校准。此校准应由仪器制造厂家或其他合格机构完成。本标准提供的数据用于评估和确认仪器使用期间强度/能量响应函数保持恒定的准确度。本标准提供了一些可能会影响一致性的仪器设置指导意见。

GB/T 28894-2012表面化学分析.分析前样品的处理

本标准规定了表面化学分析样品的处理和存放容器的要求。本标准适用于表面化学分析设备的用户了解表面化学分析技术的特殊样品处理要求，特别是俄歇电子能谱（AES）、二次离子质谱（SIMS）和X射线光电子能谱（XPS或ESCA）。本标准也适用于对表面组成敏感的其他分析技术，如TXRF.对于特定的实例，特定的样品，需要更加注意。

GB/T 29085-2012卫星防污染技术要求

本标准规定了卫星研制全过程所需进行的各项防污染工作项目及其技术要求、本标准适用于整星的研制,分系统及组件(含设备、部件)也可参照使用、

GB/T 29558-2013表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性

针对于常规分析使用的电子枪能量至少为2 keV的俄歇电子能谱仪,本标准规定了一种评估其强度标的重复性和恒定性的方法。它仅适用于配备了溅射清洁用离子枪的仪器。本标准并非旨在成为一种强度/能量响应函数的校准,这种校准可由仪器厂商或者其他机构制定。本方法提供数据以评估和确认仪器使用中强度/能量响应函数保持恒定的精度,对可影响这种恒定性的一些仪器设置给出了指导。

GB/T 29731-2013表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准

本标准规定了用于表面元素和化学态分析的俄歇电子能谱的动能标校准方法。并且还规定了校准日程安排,用于在中间某一能量值测试动能标线性、在高低动能区各取一点确认标尺校准的不确定度、校正标尺小漂移以及规定在95%置信度时该动能标校准的扩展不确定度(这个不确定度包括实验室之间研究中观察到的各种现象,但不涵盖所有可能的缺陷)。本标准仅适用于配备溅射清洁离子枪的仪器。不适用于以下情况的仪器:动能标尺的误差随能量明显非线性变化;工作于谱仪的相对分辨率低于0.2%的固定△E/E模式或固定△E为1.5 eV模式时,要求容差极限为±0.05 eV或更小。也不适用于电子枪不能在5 keV~10 keV能量范围操作的仪器。本标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能设定的点加以验证,且应按仪器制造商的推荐程序进行。