电子工业用气体磷化氢检测

发布时间：2024-06-21 作者：中析研究所浏览：

GB/T 14600-2009电子工业用气体.氧化亚氮

本标准规定了氧化亚氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。

GB/T 14851-2009电子工业用气体.磷化氢

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

GB/T 20936.2-2017爆炸性环境用气体探测器第2部分:可燃气体和氧气探测器的选型、安装、使用和维护

GB/T 20936的本部分规定了符合GB/T 20936.1—2017要求、用于工业应用和商业安全应用的Ⅱ类可燃气体探测器的选型、安装、安全使用及维护的指南和操作规程建议。本部分适用于通过惰化排除氧气而不是排除可燃性气体或蒸气实现防爆要求的氧气探测器。本部分是实践知识的汇总，适用于利用气体传感器的电子信号形成仪表读数，同时启动预设声光报警，或启动其他装置，或上述动作的组合，显示出现可燃性或潜在爆炸性气体或蒸气/空气混合物的设备、仪器和系统。由于可燃性气体/空气混合物的集聚可能对生命和财产造成危害，可用这样的设备发出警告，作为降低危险的方式。也可用于启动特定的安全措施(例如，设备停机、疏散、启动灭火程序)。本部分适用于所有新安装的永久装置，如果可行，也适用于在用的永久装置。本部分也适用于新的或在用的临时装置。本部分也适用于便携式或移动式探测器(无论其年代或复杂性)的安全使用。由于大部分这种类型的现代设备还包括贫氧探测和/或特定有毒气体传感器，对于这些设备，也给出了附加指南。本部分中可燃性气体应包括可燃性蒸气，有特殊说明的除外。本部分仅适用于Ⅱ类设备(用于工业和商业安全应用，在按照GB 3836.14划分区域的场所使用的设备)。本部分的设备包括：a)　固定式探测器；b)　移动式探测器；c)　便携式探测器。本部分不包括下列设备，但可以提供有用信息：a)　仅探测不燃性有毒气体的探测器；b)　仅用于分析或测量的实验或科研设备；c)　煤矿瓦斯气体环境用探测器(Ⅰ类设备)；d)　仅用于过程控制的探测器；e)　用于炸药制造和加工的探测器；f)　用于探测由粉尘或薄雾在空气中形成潜在可燃环境的探测器；g)　不用于点位测量的开放路径探测器。