欢迎访问中科光析科学技术研究所官网!
免费咨询热线
400-635-0567中文标准名称:光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
英文标准名称:Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry
标准状态:现行
中国标准分类号:(CCS)H82
标准分类号:(ICS)29.045
发布日期:2015-07-03
实施日期:2016-03-01
主管部门:标准化管理委员会
归口单位:半导体设备和材料标准化技术委员会
信息产业专用材料质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、电子功能与辅助材料质量监督检验中心 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 。
褚连青王奕徐静王鑫 、何秀坤 、裴会川 、冯亚彬等 。
20100119-T-469 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
20100116-T-469 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
20141873-T-469 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
20173545-T-469 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
DB63/T 1611-2017 光纤预制棒原料四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37837-2019 四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则