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GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

tag: 多晶硅   石英料 发布日期: 2024-06-21

标准号:GB/T 32652-2016

  中文标准名称:多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

  英文标准名称:Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon

  标准状态:现行

  中国标准分类号:(CCS)L90

  标准分类号:(ICS)31.030

  发布日期:2016-04-25

  实施日期:2016-11-01

  主管部门:标准化管理委员会

  归口单位:半导体设备和材料标准化技术委员会

主要起草单位

  硅材料深加工产品质量监督检验中心 、东海县产品质量监督检验所 、江苏中腾石英材料科技有限公司 、中材高新江苏硅材料有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人

  薄雷明 、程尚栩 、栾振祥 、张存君 、王祥 、许振午 、李建德 、管琪 、冯亚彬 。

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