GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

标准号：GB/T 35310-2017

中文标准名称：200mm硅外延片

英文标准名称：200mm silicon epitaxial wafer

标准状态：现行

中国标准分类号：(CCS)H82

标准分类号：(ICS)29.045

发布日期：2017-12-29

实施日期：2018-07-01

主管部门：标准化管理委员会

归口单位：半导体设备和材料标准化技术委员会

主要起草单位

南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院 。

主要起草人

马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。

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