中文标准名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
英文标准名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
标准状态：现行
中国计量科学研究院 。
王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。
本标准等同采用ISO标准：ISO 16413:2013。
采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。
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