GB/T 36053-2018  X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

标准号：GB/T 36053-2018 

中文标准名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

英文标准名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

标准状态：现行

主要起草单位

中国计量科学研究院 。

主要起草人

王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

采标情况

本标准等同采用ISO标准：ISO 16413:2013。

采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。