GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

　　Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method

　　标准 推荐性 现行标准《氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报，TC203SC2(半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行，主管部门为标准化管理委员会。

GB/T 36705-2018主要起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 、有色金属技术经济研究院 、东莞市中镓半导体科技有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

GB/T 36705-2018主要起草人

郑树楠 、张育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪涛 、杨素心 、丁晓民 、陆敏 、杨建 。

GB/T 36705-2018相近标准(计划)

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