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400-640-9567Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
标准 推荐性 即将实施标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为标准化管理委员会。
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20153657-T-469 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
20031796-T-610 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
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20064809-T-469 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 硅多晶真空区熔基硼检验方法
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