GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

标准号：GB/T 32495-2016

　　中文标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

　　英文标准名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon

　　标准状态：现行

　　中国标准分类号：(CCS)G04

　　标准分类号：(ICS)71.040.40

　　发布日期：2016-02-24

　　实施日期：2017-01-01

　　主管部门：标准化管理委员会

　　归口单位：微束分析标准化技术委员会

主要起草单位

　　中国电子科技集团公司第四十六研究所 。

主要起草人

　　马农农 、陈潇 、何友琴 、王东雪 。

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